РЭМ-106И — растровый измерительный электронный микроскоп с камерой низкого вакуума для исследований в материаловедении, нанотехнологиях, физике, химии, геологии, микроэлектронике, биологии, медицине и др. областях с гарантированными метрологическими параметрами измерений линейных размеров субмикронного диапазона и массовой доли элементов в составе исследуемых объектов. Занесен в Госреестр Украины и Российской Федерации как средство измерения.
Описание "Микроскоп растровый электронный измерительный РЭМ-106И"
РЭМ-106И
РЭМ-106И — растровый измерительный электронный микроскоп с камерой низкого вакуума для исследований
в материаловедении, нанотехнологиях, физике, химии, геологии, микроэлектронике, биологии, медицине и др.
областях с гарантированными метрологическими параметрами измерений линейных размеров субмикронного диапазона
и массовой доли элементов в составе исследуемых объектов. Занесен в Госреестр Украины и Российской Федерации
как средство измерения.
Основные достоинства и особенности прибора:
быстрое, с гарантированной точностью, измерение линейных размеров объектов;
определение элементного состава объектов методом рентгеновского микроанализа с гарантированной
точностью;
высокое качество электронно-оптических изображений поверхности проводящих и диэлектрических объектов без
специального приготовления в режимах вторичных (ВЭ) и отраженных электронов (ОЭ);
набор тестовых образцов для калибровки и поверки метрологических параметров, электронно-оптического
увеличения, разрешающей способности в режиме ВЭ и ОЭ, калибровки и поверки системы микроанализа; набор
эталонов для количественного микроанализа;
конструкция вакуумной системы, обеспечивающая два рабочих режима в камере объектов: высоковакуумный
(классический РЭМ) и низковакуумный регулируемый – для исследования диэлектрических объектов;
электронно-оптическая система с повышенной защищенностью от внешних электромагнитных полей;
высокая виброустойчивость;
объективная линза с разделительными диафрагмами для дифференциальной откачки камеры объектов и электронной
пушки;
управление вакуумной, электронно-оптической, энерго-дисперсионной системами прибора и механизмом
перемещения объектов, а также визуализацию и хранение изображений и результатов микроанализа обеспечивается
персональным компьютером;
документирование изображений и спектров высокоразрешающим принтером;
отображение информации о состоянии прибора на дисплее компьютера.
ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
Параметр
Значение
Разрешение в режиме высокого вакуума (ВЭ), nm
4
Разрешение в режиме низкого вакуума (ОЭ), nm
6
Максимальный размер изображения, pixels
1280×960
Диапазон регулирования давления в камере, Pa
1 — 270
Диапазон ускоряющих напряжений, kV
0,5 — 30
Диапазон регулирования увеличений, ×
15 — 300000
Максимальный размер объекта, mm
50
Диапазон перемещений объекта:
• по координатам X, Y, mm
• по координате Z, mm
• наклон, °
• поворот, °
±25
50
-20÷60
360
Время смены образца, min
5
Диапазон измерений линейных размеров, µm
0,2 — 5000
Пределы допускаемой основной погрешности измерений
линейных размеров, не более:
• в диапазоне от 0,2 µm до 0,8 µm, nm
• в диапазоне свыше 0,8 µm до 5000 µm, %
±40
±4
Диапазон анализируемых элементов:
• в режиме высокого вакуума
• в режиме низкого вакуума
5B - 92U 12Mg - 92U
Разрешение ЭДС, eV
139
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений
массовой доли элемента в диапазоне от 6С до
92U
в составе массивных образцов, не более:
• для элементов с диапазоном массовой доли свыше 10 %, %
• для элементов с диапазоном массовой доли свыше 1 % до 10 %, %
• для элементов с диапазоном массовой доли от 0,1 % до 1 %, %
±4
±20
±50
Напряжение питания (1 фаза), V
частота, Hz
220 50/60
Потребляемая мощность, kVА
2,5
Габаритные размеры (колонна со стендом), mm, не более:
• длина
• ширина
• высота
1050
2100
1850
Масса, kg, не более
685
Опции:
автономная система водяного охлаждения;
набор эталонных объектов геологического происхождения;
варианты комплектности (камера низкого вакуума и ЭДС) – по согласованию с потребителем.
Вы можете обратиться за более детальной информацией к производителю "Микроскоп растровый электронный измерительный РЭМ-106И".
Всего в разделе
Обзоры по теме
