Вакуумный универсальный пост ВУП-5М

Вакуумный универсальный пост ВУП-5М предназначен для получения пленок из различных материалов с высокой производительностью методом магнетронного распыления, а также для подготовки объектов, исследуемых с помощью электронного микроскопа или других аналитических приборов.
Прибор может быть применен для исследований в области физики, химии, биологии, медицины и других областях нayки и техники.

Производитель:

СЭЛМИ, ОАО

Специализация:

Лаборатория - прочее

Описание "Вакуумный универсальный пост ВУП-5М"

ВУП-5М

Вакуумный универсальный пост ВУП-5М предназначен для получения пленок из различных материалов с высокой производительностью методом магнетронного распыления, а также для подготовки объектов, исследуемых с помощью электронного микроскопа или других аналитических приборов.

Прибор может быть применен для исследований в области физики, химии, биологии, медицины и других областях нayки и техники.

Основные достоинства и особенности прибора

универсальность процесса позволяет получить пленки металлов, сплавов и полупроводников;
высокая скорость осаждения с возможностью ее регулирования в широких пределах;
сохраненне соотношения компонентов при распылении вещества сложного состава;
прибор позволяет получить высокую адгезию пленок и подложки;
возможность изменения структуры и свойств пленок;
возможность распыления нескольких материалов без разгерметизации объема;
небольшое тепловое воздействие на обрабатываемую структуру.

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
Предельное остаточное давление в рабочем объеме, Pa: • с диффузионным насосом и азотной ловушкой • с турбомолекулярным насосом	2×10^-4 6×10^-4
Диаметр мишени магнетрона, mm	40
Блок питания DC магнетрона: • напряжение, V • ток, mA	1100 300
Блок питания высоковольтный: • напряжение, kV • ток, mA	7 50
Блок термического испарения: • первый испаритель, ток, A • второй испаритель, ток, A	200 100
Температура нагрева подложки, °C	350
Скорость вращения подложки, rpm	5 — 15
Система напуска и стабилизации давления газа	одноканальная (пьезонатекатель)
Размеры рабочего объема (диаметр×высота), mm	300×300
Масса прибора, kg, не более	380
Габаритные размеры, mm • стойка аналитическая • стойка электрическая	620×630×1600 620×630×1400
Электрическое питание, V	380 / 220
Потребляемая мощность, kVA	4,5

Варианты исполнения приборов ВУП-5М для поставки
Система откачки	ВУП-5М-01	ВУП-5М-02	ВУП-5М-03
Дифузионный насос, 220 V	+
Турбомолекулярный насос, 220 V		+
Турбомолекулярный насос, 115 V			+