Неразборные фильтры МКФ

Описание "Неразборные фильтры МКФ"

Неразборный фильтр МКФ-10

Параметры фильтруемого газа
Давление на входе фильтра, атм (psi) - не более 10 (143)температура, °С - от 5 до 50.

Рекомендуемый расход
До 3 нм3/ч (50 нл/мин). Максимальный перепад давлений в прямом и обратном направлениях 6 атм (86 psi).

Степень очистки
Не менее 99.9999999 % для частиц размером более 0.01 мкм.

Чистота газа после фильтра:
Концентрация частиц размером более 0.01 км - менее 0.03 частиц/литр.
Концентрация молекулярных примесей (воды, кислорода и других) - менее 10 ppb.

Локальная негерметичность корпуса
Не более 1· 10- 3 л*Ч мкм рт. ст./с при внутреннем давлении гелия (10± 0.5) атм [(143± 7.1) psi] и температуре (25± 10) ° С.

Применяемые материалы
Фильтрующий элемент - никель. Корпус - нержавеющая сталь, в том числе марки 316L по требованию заказчика.

Обработка внутренних поверхностей корпуса
Электрохимическое полирование.
Чистота обработки 0.63 Ra (корпуса из стали марки 316L - 0.13 Ra).

Площадь фильтрующей поверхности
10 см2.

Подготовка к работе
Сборка, подготовка к работе и испытания в чистых помещениях класса 100.

Упаковка
Два полиэтиленовых пакета, заполненных очищенным воздухом или азотом.

Условия эксплуатации:
Температура окружающего воздуха - от 5 до 40 °С.
Относительная влажность - не более 90 %.
Пространственная ориентация - произвольная.

Надежность
Рекомендуемая периодичность замены или регенерации - 2 года

Примечание. Расход газа указан при давлении 101.3 кПа и температуре 293.15 °К.

Неразборный фильтр МКФ-40

Параметры фильтруемого газа
Давление на входе фильтра, атм (psi) - не более 10 (143);
температура, ° С - от 5 до 50.

Рекомендуемый расход
От 3 нм3/ч (50 нл/мин) до 9 нм3/ч (150 нл/мин). Максимальный перепад давлений в прямом и обратном направлениях 6 атм (86 psi).

Степень очистки
Не менее 99.9999999 % для частиц размером более 0.01 мкм.

Чистота газа после фильтра
Концентрация частиц размером более 0.01 мкм - менее 0.03 частиц/литр;
концентрация молекулярных примесей(воды, кислорода и других) - менее 10 ppb.

Локальная негерметичность корпуса
Не более 1· 10-3 л*Ч мкм рт. ст./с при внутреннем давлении гелия (10± 0.5) атм [(143± 7.1) psi] и температуре (25± 10) ° С.

Применяемые материал
Фильтрующий элемент - никель. Корпус - нержавеющая сталь, в том числе марки 316L по требованию заказчика.

Обработка внутренних поверхностей корпуса
Электрохимическое полирование.
Чистота обработки 0.63 Ra (корпуса из стали марки 316L - 0.13 Ra).

Площадь фильтрующей поверхности
40 см2.

Подготовка к работе
Сборка, подготовка к работе и испытания в чистых помещениях класса 100.

Упаковка
Два полиэтиленовых пакета, заполненных очищенным воздухом или азотом.

Условия эксплуатации
Температура окружающего воздуха - от 5 до 40 ° С;
относительная влажность - не более 90 %;
пространственная ориентация - произвольная.

Надежность
Рекомендуемая периодичность замены или регенерации - 2 года.

Примечание. Расход газа указан при давлении 101.3 кПа и температуре 293.15 ° К

Неразборный фильтр МКФ-140

Параметры фильтруемого газа
Давление на входе фильтра, атм (psi) - не более 10 (143);
температура, ° С - от 5 до 50.

Рекомендуемый расход
От 9 нм3/ч (150 нл/мин) до 20 нм3/ч (330 нл/мин). Максимальный перепад давлений в прямом и обратном направлениях 6 атм (86 psi).

Степень очистки
Не менее 99.9999999 % для частиц размером более 0.01 мкм.

Чистота газа после фильтра
Концентрация частиц размером более 0.01 мкм - менее 0.03 частиц/литр; Концентрация молекулярных примесей (воды, кислорода и других) - менее 10 ppb.

Локальная негерметичность корпуса
Не более 1· 10-3 л*Ч мкм рт. ст./с при внутреннем давлении гелия (10± 0.5) атм [(143± 7.1) psi] и температуре (25± 10) ° С.

Применяемые материалы
Фильтрующий элемент - никель. Корпус - нержавеющая сталь, в том числе марки 316L по требованию заказчика.

Обработка внутренних поверхностей корпуса
Электрохимическое полирование.
Чистота обработки 0.63 Ra (корпуса из стали марки 316L - 0.13 Ra).

Площадь фильтрующей поверхности
140 см2.

Подготовка к работе
Сборка, подготовка к работе и испытания в чистых помещениях класса 100.

Упаковка
Два полиэтиленовых пакета, заполненных очищенным воздухом или азотом.

Условия эксплуатации
Температура окружающего воздуха - от 5 до 40 ° С;
относительная влажность - не более 90 %;
пространственная ориентация - произвольная.

Надежность
Рекомендуемая периодичность замены или регенерации - 2 года.

Примечание. Расход газа указан при давлении 101.3 кПа и температуре 293.15 ° К.

Неразборный фильтр МКФ-280

Параметры фильтруемого газа
Давление на входе фильтра, атм (psi) - не более 10 (143);
Температура, ° С - от 5 до 50.

Рекомендуемый расход
От 20 нм3/ч (330 нл/мин) до 40 нм3/ч (660 нл/мин). Максимальный перепад давлений в прямом и обратном направлениях 6 атм (86 psi).

Степень очистки
Не менее 99.9999999 % для частиц размером более 0.01 мкм.

Чистота газа после фильтра
Концентрация частиц размером более 0.01 мкм - менее 0.03 частиц/литр;
концентрация молекулярных примесей (воды, кислорода и других) - менее 10 ppb.

Локальная негерметичность корпуса
Не более 1· 10-3 лЧ мкм рт. ст./с при внутреннем давлении гелия (10± 0.5) атм [(143± 7.1) psi] и температуре (25± 10) ° С.

Применяемые материалы
Фильтрующий элемент - никель. Корпус - нержавеющая сталь, в том числе марки 316L по требованию заказчика.

Обработка внутренних поверхностей корпуса
Электрохимическое полирование.
Чистота обработки 0.63 Ra (корпуса из стали марки 316L - 0.13 Ra).

Площадь фильтрующей поверхности
280 см2.

Подготовка к работе
Сборка, подготовка к работе и испытания в чистых помещениях класса 100.

Упаковка
Два полиэтиленовых пакета, заполненных очищенным воздухом или азотом.

Условия эксплуатации
Температура окружающего воздуха - от 5 до 40 ° С;
относительная влажность - не более 90 %;
пространственная ориентация - произвольная.

Надежность
Рекомендуемая периодичность замены или регенерации - 2 года.

Примечание Расход газа указан при давлении 101.3 кПа и температуре 293.15 ° К.